제품소개
RE-CREATE, RE-CYCLE Old Equipment, Protecting Our Environment.
장비
Remodeling
New Foreline Sysem
#TEL#Oxide #Anneal #Nitride #Poly #TEOS #High-K
| 제품 용도 | |
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| TEL 반도체 장비 국산화 및 New Foreline System Remodeling | |
| 제품 특징 | |
| 반도체 Diffusion 공정 Poly (B, C, D) / HTO, LTO, MTO / Nitride / Anneal / Teos / Pyro (Oxide) 장비 국산화 및 New Foreline System Remodeling |
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상세내용
Poly (B, C, D) / HTO, LTO, MTO / Nitride / Anneal / Teos / Pyro (Oxide)
