제품 용도 | |
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반도체 및 태양전지 공정에 사용되는 DCE,POCl₃ Chemical 액체를 Quartz Bottle 내부에서 Bubbling 을 통해 기화 시키는 장치임. | |
제품 특징 | |
반도체, 태양전지에서 사용되고 있는 DCE, POCl3 Chemical 용기로 내식성이 뛰어난 Quartz Glass 소재로 제작됨. QUARTZ(석영유리, SiO2) 는 순수한 규산(SiO2)으로 이루어진 유리로 불순물이 수 백 ppm 이하인 고순도 규산을 약 2,000 ℃ 이상에서 용융 제조한 유리임. |
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