제품 용도 | |
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항온조(Constant Temperature Bath)는 반도체,태양전지 제조 공정에 사용되는 제품으로 해당 공정에 적합한 Chemical 액체를 기화(Vaporization) 상태의 화학물질을 안정적이고 정확하게 공급이 가능한 자동 온도 제어 시스템 입니다. [ C₂H₂Cl₂ : DCE (디클로로로에탄) , POCl₃ : 염화 포스포릴 ] | |
제품 특징 | |
1. Temperature 제어 시스템 2. Chemical Level 제어 시스템 3. Monitoring 시스템 4. 냉각 제어 시스템 5. Safety 시스템 |
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[ Chemical Bubbler Bottle ]
반도체,태양전지 제조 공정에 사용되는 Chemical 을 담는 용기로 내식성이 뛰어난 Quartz Glass
소재로 제작되며 기체의 유입과 제공 DCE, POCl3 Chemical Manual Valve 연결부 등으로 구성 됩니다.